주사전자현미경
Analytical, Measurements, MedicalMODULESCI PE-100은 분해능 3nm의 고성능 W-SEM입니다. LaB6 전자총 장착 시 5kV 이하 저 에너지에서 고 분해능 이미지를 얻을 수 있습니다.
* 특징
1. 시료 교체 후 이미징까지 60초 이내 가능
2. 가속전압 동작 중에도 시료 교체 가능
3. 3nm 분해능과 높은 휘도로 보다 선명하고 깨끗한 이미지 획득 가능
4. 슬라이드와 챔버 두가지 타입의 스테이지 선택 가능
: 슬라이드 타입은 3축(X,Y,Z) motorized stage 이며 챔버타입은 5축(X,Y,Z,R,T) motorized stage 적용
5. 챔버 카메라 탑재
* 스펙
1. Dimension : 690 x 780 x 1500 (W x L x H)
2. Electron source : Tungsten filament
3. Resolution : 3nm
4. Magnification : x20~x300,000
5. Electron gun vacuum system: 10-6torr
6. Accelerating voltage : 1~30kV
7. Motorized Stage : X: 50mm Y: 50mm Z: 20mm T:- 10°~90° R:360°, 5-Axis Motorized
8. Option : BSE, EDS, navigation
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