MODULESCI PE-100은 분해능 3nm의 고성능 W-SEM입니다. LaB6 전자총 장착 시 5kV 이하 저 에너지에서 고 분해능 이미지를 얻을 수 있습니다. 

* 특징

1. 시료 교체 후 이미징까지 60초 이내 가능

2. 가속전압 동작 중에도 시료 교체 가능

3. 3nm 분해능과 높은 휘도로 보다 선명하고 깨끗한 이미지 획득 가능

4. 슬라이드와 챔버 두가지 타입의 스테이지 선택 가능

  : 슬라이드 타입은 3축(X,Y,Z) motorized stage 이며 챔버타입은 5축(X,Y,Z,R,T) motorized stage 적용

5. 챔버 카메라 탑재

* 스펙

1. Dimension : 690 x 780 x 1500 (W x L x H)

2. Electron source : Tungsten filament

3. Resolution : 3nm

4. Magnification : x20~x300,000

5. Electron gun vacuum system: 10^-6torr

6. Accelerating voltage : 1~30kV

7. Motorized Stage : X: 50mm Y: 50mm Z: 20mm T:- 10°~90° R:360°, 5-Axis Motorized

8. Option : BSE, EDS, navigation