MODULESCI PE-300은 고분해능 전자현미경으로 모듈싸이만의 특별한 기술력으로 국내 최초로 개발한 FE 전자총이 구성된 Schottky 타입의 FE-SEM입니다.

전자빔은 점원으로부터 균일한 에너지를 가지고 있고, 높은 밝기와 작은 교차점을 형성할 수 있어 열방사형 주사전자현미경보다 고해상도의 이미지를 얻을 수 있습니다.

* 특징

1. 60초 내에 (슬라이드 타입) 시료교체 후 이미징까지 가능

2. 가속전압 동작 중에도 시료 교체 가능

3. 1.5nm 이하의 분해능과 높은 휘도로 보다 선명하고 깨끗한 이미지 획득 가능

4. 슬라이드와 챔버 두가지 타입의 스테이지 선택 가능

   : 슬라이드 타입은 3축(X,Y,Z) motorized stage이며 챔버 타입은 5축(X,Y,Z,R,T) motorized stage 적용

* 스펙

1. Dimension(mm) : 750x830x1550 (W x L x H)

2. Electron source : FE(Schottky)

3. Resolution : 1.2nm

4. Magnification : x20~x300,000

5. Electron gun vacuum : 10-10torr

6. Accelerating Voltage : 0.5~30kV

7. Motorized Stage : X:50mm Y:50mm Z:45mm T:-20°~45° R:360°, 5-Axis Motorized

8. Option : BSE, EDS, navigation